Procédés de dépôts de couches minces par DBD à pression atmosphérique
Nicolas Naudé
Laboratoire LAPLACE
Université Paul-Sabatier, Toulouse (France)
Résumé: La première partie de la présentation sera consacrée aux procédés de dépôts de couches minces par DBD homogène à la pression atmosphérique. Après un rapide bilan des différents types de couches réalisées par de la passé dans l’équipe, je me focaliserai plus particulièrement sur les verrous de ce type de procédé pour son développement industriel (augmentation de la vitesse de dépôt, sensibilité de la décharge aux impuretés, …). La seconde partie sera dédiée à une présentation de l’offre de formation commune dans le domaine des plasmas entre l’Université Paul Sabatier et trois Université Québécoises (Université de Montréal, Université Laval et INRS).
Cette conférence est présentée par le RQMP Versant Nord du Département de physique de l'Université de Montréal et de Génie physique de la Polytechnique.
